|
|
-
Разработка рабочего эталона (установки высшей точности) на базе приборов нанометрового диапазона с интерференционными и другими датчиками перемещений.
-
Разработка комплекса параметрических мер для калибровки приборов нанометрового диапазона, а также для передачи размера единицы длины в нанометровом диапазоне от первичного эталона к рабочему.
-
Разработка Государственной поверочной схемы для передачи размеров единицы длины от государственного исходного эталона к рабочим средствам измерений.
-
Разработка алгоритмов и программного обеспечения для выполнения измерений и анализа погрешностей результатов измерений.
-
Разработка нормативно-технической документации, включая методику испытаний и поверки средств измерений на приборах нанометрового диапазона геометрических параметров двух- и трехмерных наноструктур.
-
Законодательное оформление разработанного рабочего эталона в качестве Государственного рабочего эталона в области измерений нанометрового диапазона.
-
Организация работ по международному сличению мер линейных размеров.
-
Создание Центра нанометрологии и нанодиагностики.
|
|
