В основе формирования программы лежит системный подход, охватывающий все сферы применения нанотехнологий. Программа структурируется в соответствии с заявленной целью и поставленными задачами.

Разработка и внедрение в промышленное производство специализированного оборудования и базовых технологических процессов, обеспечивающих создание наноразмерных структур и конструкций, предназначенных для достижения принципиально новых качеств производственных процессов и производимой продукции.