КОНЦЕРН
«НАНОИНДУСТРИЯ»

ИНСТИТУТ
НАНОТЕХНОЛОГИЙ МФК

О Т   Л А Б О Р А Т О Р И И  К  И Н Д У С Т Р И И

  Главная страница О нас Продукция Услуги Компетенция Партнеры Контакты Карта сайта  
Тел./факс +7 (499) 135-80-90, E-mail: nanotech@nanotech.ru

ШИРОКОДИАПАЗОННЫЙ СВЕТОДИОДНЫЙ
СПЕКТРАЛЬНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТР «ЭЛЬФ»

Электронный прибор, позволяющий с помощью  методов эллипсометрии:

  • определять оптические константы и толщину тонких плёнок и слоев многослойных тонкопленочных структур;

  • осуществлять технологический контроль изготовления тонкопленочных структур;

  • исследовать структуры материалов и протекающие в них процессы;

  • контролировать состояние поверхности и структуры поверхностных тонких слоев.

Спектроэллипсометр "Эльф" имеет широкую сферу применения на предприятиях различных отраслей промышленности.

Наш спектральный эллипсометр может использоваться в научно-исследовательских и учебных целях, а также для контроля качества в промышленных лабораториях.

СПЕКТРОЭЛЛИПСОМЕТР «ЭЛЬФ» ПО СООТНОШЕНИЮ ЦЕНА/КАЧЕСТВО
НА СЕГОДНЯ ПРЕВОСХОДИТ СУЩЕСТВУЮЩИЕ АНАЛОГИ.
 

НАЗНАЧЕНИЕ ПРИБОРА *)

  • Измерение толщины пленок и толщин слоев в тонкопленочных структурах (металлы, полупроводники и диэлектрики; твердые и жидкие пленки).
  • Измерение оптических констант образцов (металлы, полупроводники и диэлектрики; твердые и жидкие среды).
  • Исследование структуры материалов (состав, неравномерность пространственного распределения, пористость, степень кристалличности и др.).
  • Анализ состояния поверхности и структуры тонких поверхностных слоев (наличие поверхностных слоев, шероховатость поверхности наномасштабного уровня и др.).

СФЕРЫ ПРИМЕНЕНИЯ *)

Технологический контроль изготовления тонкопленочных структур в различных отраслях, среди которых:
  • микроэлектроника - компоненты и материалы  (интегральные микросхемы, светоизлучающие диоды, дисплеи, устройства памяти, молекулярные переключающие устройства, фотодетекторы, сенсоры и т.д.);
  • телекоммуникационные системы;
  • системы спутникового телевидения;
  • энергетика (элементы солнечных батарей и  др.);
  • в органической химии - для исследования свойств и структуры пленок органических соединений и физико-химических процессов на границах раздела сред;
  • в материаловедении для исследования структуры материалов;
  • в биологии и медицине - для исследования процессов адсорбции белков, свертываемости крови; в офтальмологии - для изучения сетчатки глаза;
  • в экологических исследованиях - для контроля наличия и толщины пленок нефти на водных поверхностях  и т.д.
*)  Более подробная информация представлена здесь (pdf-файл объёмом 414 Кб).

ОПИСАНИЕ ПРИБОРА

В основе работы прибора - эллипсометрия, представляющая собой высокочувствительный и точный поляризационно-оптический метод исследования поверхностей и границ раздела различных сред (твердых, жидких, газообразных), основанный на изучении изменения состояния поляризации света при отражении т.е. после взаимодействия его с поверхностью границ раздела этих сред. Описание метода эллипсометрии можно посмотреть здесь.

Технические характеристики:

Диапазон длин волн 270 ÷ 1000 нм
Спектральное разрешение 3 ÷ 4 нм
Воспроизводимость и стабильность при измерении эллипсометрических параметров Ψ и Δ без микроприставки в диапазоне длин волн 400-1000 нмне хуже 0.010
Точностьпо толщине – не хуже 0.1 нм *;
по показателю преломления - 0.001*
Угол падения светового луча450 ÷ 900 с интервалом 2,50
Диапазон толщин 0.1 нм – 5 мкм*
Диаметр светового луча 3 мм
(200 мкм с микроприставкой)
Время измерения на одной длине волны 0,3 ÷ 2 сек
Дискретность измерения спектра400 точек
*) Цифры приведены для тестовой системы SiO2/Si.

Особенности прибора

Повышение точности измерений, снижение влияния фоновых засветок и шумов в спектроэллипсометре "Эльф" обеспечивается за счёт использования ряда удачных конструкционных решений. Среди них наличие:
  • микроприставки, улучшающей пространственное разрешение; 
  • ахроматического компенсатора, позволяющих повысить точность измерений слоев толщиной менее 10 нанометров;
  • измерительного столика, дающего возможность перемещать образец в трех направлениях;
  • системы контроля правильности установки образца.
Прибор обладает возможностью работы, как в режиме эллипсометрии, так и  в режиме спектральной фотометрии.

Достоинства прибора:

  • позволяет проводить исследования в обычной атмосфере, при различных температурах и давлениях, в различных средах;
  • обеспечивает бесконтактность, неразрушающий характер, оперативность измерения;
  • не содержит движущихся поляризационных элементов, что увеличивает чувствительность и уменьшает время измерения;
  • способен работать со слабыми сигналами;
  • имеет повышенную чувствительность;
  • снижает влияние шумов за счёт использования метода измерений параметров с бинарной модуляцией состояния поляризации;
  • современное программное обеспечение, включающее библиотеку спектров показателей преломления и поглощения света различных веществ. Библиотека может быть дополнена пользователем самостоятельно.

 

Коммерческое предложение

 

Комплектация

  • Оптико-механическая часть, включающая в себя:
  •     угловое устройство;
  •     поляризатор;
  •     анализатор;
  •     автоколлиматор;
  •     ахроматический компенсатор;
  •     измерительный столик для образцов;
  •     встроенный монохроматор, оснащенный шаговым двигателем и осветителем, представляющим собой набор светодиодов.
  • Микроприставка (2 блока);
  • Блок питания;
  • Программное обеспечение;
  • Руководство по эксплуатации;
  • Паспорт.

Более подробная информация о приборе, методе исследования и сферах его применения для конкретных задач представлена в здесь.

 

Заказы на прибор принимаются по адресу:

119334 Москва, ул. Бардина, дом 4, корпус 1.
Концерн «Наноиндустрия»
Тел./Факс (499) 135-80-90
E-mail: nanotech@nanotech.ru,
info2@nanotech.ru
Сайт: www.nanotech.ru
 

Copyright © 2009-2014   Концерн "Наноиндустрия"                Web-master

Обновлено 30.10.2014